等离子清洗机应用
一、金属表面去油及清洗
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、
油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离
子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等
离子处理会产生以下效果：
1灰化表面有机层
2氧化物去除
3焊接
二、等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气
相。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理
气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体
行业用铬做覆盖材料）。
等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合
物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为
预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可
以大大地增加粘合润湿面积提高粘合强度。
三、刻蚀和灰化
聚四氟(PTFE)混合物的刻蚀
四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗
塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等
等一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进
行处理。
五、等离子涂镀
聚合
在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下会聚
合。这种应用比活化和清洗的要求要严格一些。典型的应用是保
护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟(PTFE)材
质的涂镀、防水镀层等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时
表面的疏水性非常好。
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